英特尔首批两台 ASML 高数值孔径光刻机已投产，可靠性翻倍

此前，英特尔在采用上一代极紫外（EUV）光刻机方面落后于竞争对手。英特尔曾花费七年时间才将旧款光刻机投入全面生产，这一过程中的可靠性问题使其失去了对台积电的领先优势。卡森指出，ASML 新型高数值孔径（NA）光刻机在初步测试中的可靠性约为旧款机型的两倍。他强调：“我们能够以稳定的速率生产晶圆，这对整个平台来说是一个巨大的优势。”