英特尔首批两台 ASML 高数值孔径光刻机已投产，可靠性翻倍

2 月 25 日消息，英特尔公司于当地时间周一宣布，其工厂已开始使用 ASML 公司的首批两台先进光刻机进行生产。早期数据显示，这些新型光刻机的可靠性优于旧款机型。在加利福尼亚州圣何塞的一场会议上，英特尔高级首席工程师史蒂夫・卡森表示，英特尔已利用 ASML 的高数值孔径（NA）光刻机在一个季度内生产了 30,000 片晶圆。这些晶圆是用于制造计算机芯片的大型硅片，每片晶圆可产出数千颗芯片。英特尔是全球首家接收这些新型光刻机的芯片制造商，该设备预计将生产出比旧款 ASML 机器更小、更快的计算芯片。