ASML：向下一代光刻机的转变可能带来高昂成本

据此前报道，上个月，英特尔宣布其工厂已开始使用 ASML 公司的首批两台先进光刻机进行生产。早期数据显示，这些新型光刻机的可靠性优于旧款机型。克里斯托弗・福凯则在今年年初的财报电话会上表示，该企业的首台第二代 0.55 (High) NA EUV 光刻机 TWINSCAN EXE:5200 即将以“早期工具”的身份发货，用于技术成熟度验证。